MEMS气体传感器在氢能源的应用
发布者:精讯畅通
上传时间:2022 年 8 月 14 日
INGENUITY
背景:
氢能源是一种在能源危机的出现和开发新的二次能源的同时人们期待的新的二次能源,是中国新能源未来发展的重点领域。近些年来,国家开始部署氢能发展与利用,国内的很多汽车企业已经开展了氢燃料电池电动汽车的研发。
虽然氢能源作为一种清洁而高效的新能源替代传统能源是必然趋势,但氢气具有易燃易爆的特性,空气中只需含有4%的氢气就能产生氢氧气体,有时也称为氢氧混合气,最小的火花都能将此类气体点燃。氢能源在生产过程中包括氢气制备、贮存、运输和使用过程中都需要诸如压力传感器、温度传感器、氢气浓度传感器等多种传感器对其内外部环境进行检测。
为了保障未来氢燃料汽车以及相关基础设施的安全,必须进行氢气浓度检测,而且氢气传感器的响应速度必须足够快速,以便在起火发生之前探测到泄露的氢气。MEMS气体传感器中的氢气传感器就可以做到这一点。

应用:
MEMS氢气气体传感器是可以对氢燃料电池汽车进行氢气泄漏检测的半导体金属氧化物气体传感器。当半导体金属氧化物吸附氧气时, 电阻率会显著增加,当氢气等还原性气体将金属氧化物化学吸附层中的氧气还原时,电阻率会随之变化,通过检测电阻变化量即可检测氢气气体浓度。
MEMS气体传感器采用MEMS技术加工而成,摒弃了传统传感器生产过程中繁琐的人工环节,使得传感器的一致性及生产效率获得极大提升。
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