MEMS传感器的基本特点介绍
发布者：精讯畅通
上传时间：2022 年 10 月 2 日
INGENUITY
什么是MEMS技术？
MEMS 技术于 1980 年代发明，是一种利用硅基半导体制造工艺制造微型机械电子系统的技术，最早在汽车和军工领域有部分应用，主要产品包括 MEMS 传感器和 MEMS 执行器。使用MEMS 工艺制造的器件具有小型化、可智能化的特点，契合物联网中边缘端设备采集不同维度、海量数据过程中对低功耗、一致性高的需求。但在 4G 网络诞生以前，由于通信网络数据传输和承载能力有限，MEMS 传感器的市场需求亦非常有限，正如胎儿时期的人类由于神经网络尚未发育，相应的感官器官的发展也会受到限制。精讯畅通作为一家具有多年经验的设备生产厂家，价格亲民，支持定制。
MEMS 传感器芯片的基本特点
与大规模集成电路产品均采用标准的 CMOS 生产工艺不同，MEMS 传感器芯片本质上是在硅片上制造极微小化机械系统和集成电路的集合体，需要综合运用多学科、多行业的知识与技术、生产加工工艺具有明显的非标准化和高度的定制化以及对产品供应链体系的支撑有着非常高的要求等特点。MEMS 芯片具有非常强的工艺特征，三维制造工艺与集成电路的二维制造工艺相差甚大，这也是国家十四五规划中明确将 MEMS 特殊工艺的突破纳入其中的重要原因。
MEMS气体传感器
精讯畅通的MEMS气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。JXBS-3001可燃气体传感器可以有效的进行可燃气体在线监测。产品体积小，反应速度快，功耗低，厂家直销，支持定制。厂家直销，支持定制，更多气体传感器，欢迎前来精讯畅通咨询。
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