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• - 新闻中心 - 基于MEMS原理六氟化硫气体传感器

概述：

由于六氟化硫气体本身具有优良的灭弧性能和绝缘性能以及良好的化学稳定性，它从20世纪50年代末就开始被用作高压断路器的灭弧介质。在超高压和特高压断路器中，六氟化硫气体作为灭弧介质，已取代油，并已大量取代了压缩空气。在高压开关中，需要测试SF6纯度，保证SF6气体绝缘性。SF6纯度一般是90%~100%Vol.。目前，六氟化硫传感器的测量方法主要有MEMS热导式和非分散红外（NDIR）方法。其中MEMS原理热导式SF6气体传感器的测量原理是最准确、最可靠的方法。

六氟化硫传感器内部结构

基于MEMS原理的六氟化硫传感器是最经典的测量方式，近些年来由于非分散红外（NDIR）技术的进步，MEMS原理测量SF6气体浓度一度受到冷落和遗忘。但后来工程师发现非分散红外（NDIR）方法测量六氟化硫纯度有很大的缺陷，他们也逐步回到最经典的热导率的方法上。

MEMS原理SF6传感器根据被测SF6气体和背景气体的热导率数不同来计算其中SF6气体组份的含量。当敏感元件吸附被测气体时，热导率发生变化，通过调理电路将热导系数变化转为电压变化，据此可检测气体中浓度或含量。利用各种气体不同的热导系数，即具有不同的热传导速率来进行测量的。当被测气体FS6以恒定的流速流入六氟化硫气体传感器时，热导池内的铂热电阻丝的阻值会因被测气体SF6的浓度变化而变化，运用惠斯顿电桥将阻值信号转换成电信号，通过电路处理将信号放大、温度补偿、线性化，使其成为六氟化硫浓度测量值。MEMS原理SF6传感器具有精度高，重复好和波动性小受到市场应用广泛欢迎，目前也重新赢得工程师的信赖。

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