产品详情
产品参数
产品介绍：
MEMS氢气气体传感器是采用MEMS工艺，用来检测0-5000ppm氢气气体浓度范围的MEMS气体传感器。MEMS氢气气体传感器利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。MEMS气体传感器使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与氢气气体浓度相对应的输出信号。
产品特点：
1、微型化设计
产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短，表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。
2、高度集成
可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，形成微传感器阵列、微执行器阵列。
3、高/低温工作适应性好
产品功耗低，工作时基本没有热辐射，不影响周边温度湿度检测。
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