JXBS-3001MEMS氢气传感器

JXBS-3001MEMS氢气传感器

  • JXBS-3001MEMS氢气传感器

  • MEMS气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。

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  • 产品详情

    产品参数

    • 概述：

    MEMS气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

    参数介绍：

    回路电压Vc：≤24V DC 

    加热电压VH：2.8V±0.1V AC or DC 

    负载电阻RL：可调 

    加热电阻RH：80Ω±20Ω（室温） 

    加热功耗PH：≤80mW 

    敏感体表面电阻Rs：1KΩ～30KΩ 

    灵敏度S：≥2.0 

    浓度斜率α：≤0.9 

    温度：20℃±2℃ 

    湿度：55%RH±5%RH 

    标准测试电路：VH:2.8V±0.1V；Vc:5.0V±0.1V

    产品特点：

    1、微型化设计：产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短，表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。

    2、高度集成：可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，形成微传感器阵列、微执行器阵列。


    3、高/低温工作适应性好：产品功耗低，工作时基本没有热辐射，不影响周边温度湿度检测。