MEMS丙酮气体传感器

MEMS丙酮气体传感器

  • MEMS丙酮气体传感器

  • MEMS丙酮气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。可以有效的对丙酮气体进行在线气体监测。

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    • MEMS丙酮气体传感器
    概述：

    MEMS丙酮气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。可以有效的对丙酮气体进行在线气体监测。

    参数介绍：

    设备型号：JXBS-3001

    测量范围：0-500ppm

    通讯方式：数字信号

    测定参数：丙酮

    回路电压Vc：≤24V DC 

    加热电压VH：2.8V±0.1V AC or DC 

    负载电阻RL：可调 

    加热电阻RH：80Ω±20Ω（室温） 

    加热功耗PH：≤80mW 

    敏感体表面电阻Rs：1KΩ～30KΩ 

    灵敏度S：≥2.0 

    浓度斜率α：≤0.9 

    温度：20℃±2℃ 

    湿度 ：55%RH±5%RH 

    标准测试电路：VH:2.8V±0.1V；     Vc:5.0V±0.1V